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應(yīng)用范圍
       泵從大氣壓力下開始抽氣，將被抽氣體直接排到大氣中，泵腔內(nèi)無油和其他工作介質(zhì)，泵的極限壓力與油封式真空泵接近。
       低壓化學(xué)氣相沉積中多晶硅制備工藝，半導(dǎo)體刻蝕工藝，化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)的蒸餾、干燥、脫泡、包裝，防止有機(jī)溶劑造成污染。

性能特點(diǎn)
       對(duì)物品及環(huán)境沒有污染，使用真空、排氣場(chǎng)合不含油分
       維護(hù)方便，使用特殊自潤滑碳素滑片
       耐磨性強(qiáng)、無油泵、噪音低、壽命長
       調(diào)節(jié)方便、有真空壓力表及調(diào)節(jié)閥
       吸排氣穩(wěn)定，多枚滑片高速回轉(zhuǎn)
       振動(dòng)小、空氣波動(dòng)小、吸排氣穩(wěn)定